[实用新型]基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备

摘要

本案涉及基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备，包括：送风单元，其包括多个纵置的风机过滤机组；第一回风单元，其设置在洁净室与送风单元的出风端相对的另一侧；第二回风单元，其设置在洁净室的顶部，包括多个第二排风机组；第三回风单元，其设置在洁净室的顶部，并与第二回风单元保持间隔，第三回风单元包括多个第三排风机组；其中，在排风通道的拐角处设置有弧形导风件，弧形导风件的弧形面上设置有缓冲层。本案通过对排风通道的结构优化，增加了排风的顺畅度，改善了积尘影响，减小了气体流通时的噪音污染；对送风单元结构的改进，提高了装置的结构牢固性和密封效果，组装方便，利于模块化生产和组装。

主权项

一种基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备，其特征在于，包括：送风单元，其包括多个纵置的风机过滤机组，所述纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向，所述送风单元的出风端位于洁净室内部一侧，所述送风单元的吸风端位于洁净室外部并与洁净室外部的排风通道相连；第一回风单元，其设置在所述洁净室与所述送风单元的出风端相对的另一侧，包括多个第一排风机组，所述第一排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内；第二回风单元，其设置在所述洁净室的顶部，包括多个第二排风机组，所述第二排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内；第三回风单元，其设置在所述洁净室的顶部，并与所述第二回风单元保持间隔，所述第三回风单元包括多个第三排风机组，所述第三排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内；其中，在所述排风通道的拐角处设置有弧形导风件，所述弧形导风件的弧形面上设置有缓冲层。