[实用新型]多晶硅铸锭炉高效率加热器有效
申请号: | 201520546041.0 | 申请日: | 2015-07-24 |
公开(公告)号: | CN204874822U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 芮敏之 | 申请(专利权)人: | 美尔森先进石墨(昆山)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德;段新颖 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉高效率加热器,包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器,所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻,四个石墨电阻的首尾通过连接板固定连接,形成一方形环,所述连接板包括折弯面和位于所述折弯面两侧的连接面,所述折弯面及两个连接面一体折弯成型,两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。本实用新型能够有效拓展加热器围成的内部空间,增加多晶硅锭的产量,且可以增加侧部加热器的抗折断能力,还可以调节热场。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 高效率 加热器 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉高效率加热器,其特征在于:包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器(1),所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻(11),四个石墨电阻的首尾通过连接板(12)固定连接,形成一方形环,所述连接板包括折弯面(121)和位于所述折弯面两侧的连接面(122),所述折弯面及两个连接面一体折弯成型,两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。
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