[实用新型]管路粉尘清洁器有效
| 申请号： | 201520543423.8 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204842386U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王晓晨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/049 | 分类号： | B08B9/049;B08B9/035 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种管路粉尘清洁器，包括：基座，所述基座内部形成有一收容空间，顶部具有第一开口，底部具有第二开口；齿圈，水平设于所述收容空间内；至少一个旋转铲，与所述齿圈连接，顶端从所述第一开口伸出；旋转轴，穿通所述基座一侧面，且内端伸入所述收容空间内；齿轮，连接于所述旋转轴内端，并与所述齿圈相配合，随所述旋转轴的旋转带动所述齿圈转动，进而带动所述旋转铲运动。所述清洁器可安装于工艺腔体的排气管路之间，清理时，无需拆开管路，外部扭力通过旋转轴带动内部齿圈转动，进而带动旋转铲转动，将管道内部的粉末凝固层铲下。通过排气孔可轻易将粉末吸出，达到清除粉尘的目的，使用方便，耗时短，可大大提高机台可运行时间。 | ||
| 搜索关键词： | 管路 粉尘 清洁 | ||
【主权项】：
一种管路粉尘清洁器，其特征在于，包括：基座，所述基座内部形成有一收容空间，顶部具有第一开口，底部具有第二开口；齿圈，水平设于所述收容空间内；至少一个旋转铲，所述旋转铲底端与所述齿圈连接，顶端从所述第一开口伸出；旋转轴，穿通所述基座一侧面，且内端伸入所述收容空间内；齿轮，连接于所述旋转轴内端，并与所述齿圈相配合，随所述旋转轴的旋转带动所述齿圈转动，进而带动所述旋转铲运动。
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