[实用新型]一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置有效
| 申请号： | 201520505895.4 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN204973470U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 靳丽婕;张云伟 | 申请（专利权）人： | 北京世纪金光半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D46/00;B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 101111 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置包括:过滤装置本体,所述过滤装置本体上设置有进气口、出气口和排气口，所述进气口与分子泵连接，所述出气口与机械泵连接，过滤装置本体内部设置有过滤腔，所述过滤腔中靠近进气口装有变色硅胶，靠近出气口装有活性炭，过滤腔中安装有加热源。本装置可同时除去来自炉腔和空气中的水分子以及来自机械泵产生的油分子和其他杂质。保护了分子泵和机械泵不被污染，延长了使用寿命；增加了单晶生长室内气氛的纯净度，提高单晶生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 真空 系统 气体 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置，其特征在于，该气体过滤装置包括:过滤装置本体,所述过滤装置本体上设置有进气口、出气口和排气口，所述进气口与分子泵连接，所述出气口与机械泵连接，过滤装置本体内部设置有过滤腔，所述过滤腔中靠近进气口装有变色硅胶，靠近出气口装有活性炭，过滤腔中安装有加热源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京世纪金光半导体有限公司，未经北京世纪金光半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520505895.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电子冰箱的模拟系统
- 下一篇：球形颗粒碰撞除垢换热系统
