[实用新型]一种提高磁控溅射靶材利用率的结构有效
| 申请号： | 201520489264.8 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204803398U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 闫都伦;王克斌;吴细标;唐贵民 | 申请（专利权）人： | 深圳新南亚技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高磁控溅射靶材利用率的结构，包括伺服电机、丝杠、磁铁板、丝杠螺母、磁铁组和靶材，所述靶材的背面设置磁铁组，磁铁组固连在磁铁板上，从而构成磁控溅射靶材结构，所述磁铁板的背面固连丝杠螺母，丝杠螺母连接丝杠，丝杠的一端连接伺服电机。本实用主要是通过将磁铁板的宽度变窄，同时配有伺服电机与丝杠，通过伺服电机的正反转及适当的转速控制，使得磁铁板带着磁铁组在靶材宽度范围内，进行左右移动。通过周期性的左右运动叠加，最终达到最大的靶材刻蚀效果，通过测试，靶材利用率可提高1倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 磁控溅射 利用率 结构 | ||
【主权项】：
一种提高磁控溅射靶材利用率的结构，包括伺服电机、丝杠、磁铁板、丝杠螺母、磁铁组和靶材，所述靶材的背面设置磁铁组，磁铁组固连在磁铁板上，从而构成磁控溅射靶材结构，其特征在于，所述磁铁板的背面固连丝杠螺母，丝杠螺母连接丝杠，丝杠的一端连接伺服电机。
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