[实用新型]坩埚有效
申请号: | 201520463639.3 | 申请日: | 2015-07-01 |
公开(公告)号: | CN204752904U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 何亮;胡动力;雷琦;罗鸿志 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种坩埚,应用于多晶硅铸锭生产,坩埚包括侧壁及连接侧壁的底壁,侧壁上设凹坑结构,凹坑结构沿侧壁高度方向设置并延伸至底壁。本实用新型提供的坩埚通过在坩埚的侧壁上设置凹坑结构,从而替代了现有的采用侧壁平整的设计,当在多晶硅的长晶阶段时,侧壁上生长的晶体由于多个凹坑结构的作用,能够在坩埚侧壁上形成小晶粒,从而能够使得晶体的生长方向与中心生长的晶体的生长方向一致,同时由于小晶粒相对于原有的大晶粒的生长应力小,因而能够释放一定的生长应力,使得作用在侧壁晶体上的生长应力减少,有利于侧壁晶体的生长,并能够减少生长成的晶体的位错,故而能够提高晶体的生长质量,同时能够进一步提高后续硅片的转化率。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 | ||
【主权项】:
一种坩埚,应用于多晶硅铸锭生产,其特征在于,所述坩埚包括侧壁以及连接所述侧壁的底壁,所述侧壁上设置有凹坑结构,所述凹坑结构沿所述侧壁高度方向设置并延伸至所述底壁。
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