[实用新型]形状测定装置有效
申请号: | 201520431706.3 | 申请日: | 2015-06-19 |
公开(公告)号: | CN204831214U | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 吉田太郎;上原诚 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华;金丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本实用新型提供一种形状测定装置,其通过简单的结构而以维持高分辨的状态加大景深,所述形状测定装置包括:照明光学系统,其包含能够调节从光源射出的光的量的照明系统光圈,并且在被测物一侧为远心;以及成像光学系统,其包含成像系统光圈,所述成像系统光圈使被测物和接受由该被测物投影的图像的受光面成光学共轭的关系,并且所述成像系统光圈与照明系统光圈成共轭关系,所述成像系统光圈在该被测物一侧为远心;照明系统光圈和成像系统光圈中的至少一者具备可变机构。 | ||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 | ||
【主权项】:
一种测定被测物的形状的形状测定装置,其特征在于,具备:照明光学系统,其包含能够调节从光源射出的光的量的照明系统光圈,并且在所述被测物一侧为远心;以及成像光学系统,其包含成像系统光圈,所述成像系统光圈使所述被测物和接受由该被测物投影的图像的受光面成光学共轭的关系,并且所述成像系统光圈与所述照明系统光圈成共轭关系,所述成像光学系统在该被测物一侧为远心,所述照明系统光圈和所述成像系统光圈中的至少一者具备可变机构。
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