[实用新型]一种可用于超长玻璃镀膜的缓冲装置有效
申请号: | 201520431180.9 | 申请日: | 2015-06-23 |
公开(公告)号: | CN204848657U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 贺强 | 申请(专利权)人: | 中建材(内江)玻璃高新技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人: | 李蕊 |
地址: | 641200 四川省内*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可用于超长玻璃镀膜的缓冲装置,包括进片室、缓冲室和转移室,进片室进口处设有翻板阀Ⅰ,进片室和缓冲室之间设有翻板阀Ⅱ,缓冲室和转移室之间设有翻板阀Ⅲ;进片室、缓冲室和转移室上面均连通有真空泵机组,真空泵机组与进片室之间设有气动蝶阀,进片室下面设有通过气动蝶阀开关的进气口;缓冲室和转移室均与多个分子泵连通,分子泵通过出口管道与真空泵机组连通,出口管道上以及分子泵与缓冲室之间均设有气动蝶阀;真空泵机组由互相连通的旋片泵和罗茨泵组成,罗茨泵位于气动蝶阀和旋片泵之间。本实用新型可以按照工艺要求对超长玻璃进行镀膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 超长 玻璃 镀膜 缓冲 装置 | ||
【主权项】:
一种可用于超长玻璃镀膜的缓冲装置,包括进片室、缓冲室和转移室,进片室进口处设有翻板阀Ⅰ,进片室和缓冲室之间设有翻板阀Ⅱ,缓冲室和转移室之间设有翻板阀Ⅲ,其特征在于:所述进片室、缓冲室和转移室上面均连通有真空泵机组,真空泵机组与进片室之间设有气动蝶阀,进片室下面设有通过气动蝶阀开关的进气口;所述缓冲室和转移室均与多个分子泵连通,分子泵通过出口管道与真空泵机组连通,出口管道上以及分子泵与缓冲室之间均设有气动蝶阀;所述真空泵机组由互相连通的旋片泵和罗茨泵组成,罗茨泵位于气动蝶阀和旋片泵之间。
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