[实用新型]一种适用于激光直写机薄片套刻的样品台有效
| 申请号： | 201520417767.4 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN204945615U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 李喜玲;隋文波;李华 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型专利公开了一种适用于激光直写机薄片套刻的样品台，包括样品台主体，以及样品台主体上的真空吸附孔，和定位线，样品台主体的背面设有导通环，定位线位于样品台主体上面的边缘处，样品台主体的下面设有定位钉。本实用新型轻松便捷准确地放置样品，无须多次放样，从而大大提高了曝光套刻精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 激光 直写机 薄片 样品 | ||
【主权项】：
一种适用于激光直写机薄片套刻的样品台，其特征在于：包括样品台主体(1)，以及样品台主体(1)上的真空吸附孔(2)，和定位线(5)，样品台主体(1)的背面设有导通环(3)，定位线(5)位于样品台主体(1)上面的边缘处，样品台主体(1)的下面设有定位钉(4)。
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