[实用新型]一种清洗籽晶的装置有效

专利信息
申请号: 201520397562.4 申请日: 2015-06-10
公开(公告)号: CN204724523U 公开(公告)日: 2015-10-28
发明(设计)人: 张冰蕾;张浩强;张玉亮;邓青超;乔伟波;孙少章;李金红 申请(专利权)人: 河北宁晋松宫半导体有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;B08B11/00;C30B35/00
代理公司: 河北东尚律师事务所 13124 代理人: 王文庆
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种清洗籽晶的装置,包括工作台,在工作台的左端安装有纯水槽,其右端安装酸洗装置,酸洗装置包括安装在工作台上的水浴锅,水浴锅设有电加热装置,在水浴锅内设置酸洗槽,在酸洗槽的上方设有集气罩;还包括方籽晶固定装置,方籽晶固定装置包括由两条长梁和两条短梁组成的长方形框架,在两条长梁上对称设有多对方籽晶固定孔,方籽晶固定孔与方籽晶横截面相适配,每对方籽晶固定孔的中心线与短梁平行。本实用新型具有制作成本低、操作安全、清洗效率高、清洗效果好等特点。
搜索关键词: 一种 清洗 籽晶 装置
【主权项】:
一种清洗籽晶的装置,其特征在于:包括工作台(1),在所述工作台(1)的左端安装有纯水槽(2),其右端安装酸洗装置,所述酸洗装置包括安装在工作台(1)上的水浴锅(3),所述水浴锅(3)设有电加热装置,在所述水浴锅(3)内设置酸洗槽(4),在所述酸洗槽(4)的上方设有集气罩(5);还包括方籽晶固定装置,所述方籽晶固定装置包括由两条长梁(6)和两条短梁(7)组成的长方形框架,在所述两条长梁(6)上对称设有多对方籽晶固定孔(8),所述方籽晶固定孔(8)与方籽晶(9)横截面相适配,所述每对方籽晶固定孔(8)的中心线与所述短梁(7)平行。
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