[实用新型]单晶硅棒的切割工装

摘要

本实用新型公开了一种切单晶硅材料的切割工装，特别是一种单晶硅棒的切割工装，包括单晶硅多线切割机上的切割升降台，在上述切割升降台的安装台面上固定铺设有能够接通或者切断电源的电磁铁装置，在该电磁铁装置的下方通过磁力吸合有单晶硅载物台，在该单晶硅载物台的底表面上设有用于固定待切割单晶硅棒的硅胶粘合层；当上述的电磁铁装置处于失电消磁状态时，该电磁铁装置与单晶硅载物台两者呈脱开状态。本实用新型解决了单晶硅棒在单晶硅多线切割机的切割升降台上方便进行固定的技术问题，在单晶硅多线切割机上具体使用后，能够很大程度上简化切割机上单晶硅棒的拆装工序，提升切割机的单晶硅片切割效率。

主权项

一种单晶硅棒的切割工装，包括单晶硅多线切割机上的切割升降台（1），其特征是在上述切割升降台（1）的安装台面（2）上固定铺设有能够接通或者切断电源的电磁铁装置（3），在该电磁铁装置（3）的下方通过磁力吸合有单晶硅载物台（4），在该单晶硅载物台（4）的底表面上设有用于固定待切割单晶硅棒（5）的硅胶粘合层（6）；当上述的电磁铁装置（3）处于失电消磁状态时，该电磁铁装置（3）与单晶硅载物台（4）两者呈脱开状态。