[实用新型]一种新型多晶硅侧分层加热装置有效
| 申请号： | 201520379493.4 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204779921U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 朱卫锋;孙海亮;朱一鸣;来迪文;史冰冰 | 申请（专利权）人： | 浙江精功科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312030 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型多晶硅侧分层加热装置，其包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。本实用新型的新型多晶硅侧分层加热装置具有能耗低，热场设计合理，适用于大尺寸高品质硅锭生产等诸多优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 多晶 分层 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于：包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。
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