[实用新型]一种多晶硅烘干装置有效
申请号: | 201520368562.1 | 申请日: | 2015-06-02 |
公开(公告)号: | CN204757632U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 王荷君 | 申请(专利权)人: | 安徽日能中天半导体发展有限公司 |
主分类号: | F26B23/06 | 分类号: | F26B23/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 237200 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种多晶硅烘干装置,包括滚轮、机架、发热灯套件、导槽、左不完全齿轮、右不完全齿轮、齿条、连接杆、小滚轮,所述机架底面四角设有滚轮,所述机架侧面上方设有导槽,所述齿条下设有小滚轮,所述小滚轮与导槽内底面相接触,所述齿条上方设有左不完全齿轮和右不完全齿轮,所述发热灯套件通过两根连接杆与齿条相连。该装置烘干速度快,烘干效果好,可移动性好,值得应用和推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 烘干 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅烘干装置,包括滚轮、机架、发热灯套件、导槽、左不完全齿轮、右不完全齿轮、齿条、连接杆、小滚轮,其特征在于:所述机架底面四角设有滚轮,所述机架侧面上方设有导槽,所述齿条下设有小滚轮,所述小滚轮与导槽内底面相接触,所述齿条上方设有左不完全齿轮和右不完全齿轮,所述发热灯套件通过两根连接杆与齿条相连。
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