[实用新型]一种冷却净化装置有效
| 申请号： | 201520365024.7 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204679759U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 魏龙飞;方洁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷却净化装置，用于冷却、净化光刻机的物镜镜头和掩模台上的掩模板，所述装置包括供气源、第一固定板、第二固定板和第一净化罩，所述第一净化罩设在所述镜头上方，所述第一固定板设在所述第一净化罩上，所述第一固定板上设有出气孔，该出气孔与所述第一净化罩连通，所述第一净化罩上设有与所述供气源连通的进气口，通过该进气口将气体引入到所述镜头表面；所述第二固定板设在所述掩模板上方，所述第二固定板上设有与所述供气源连通的通气孔，通过该通气孔将气体引入到所述掩模板表面。与现有技术相比，本实用新型具有净化全面、冷却效果好、结构紧凑、占用垂向空间小、易于维护及可靠性较高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种冷却净化装置，用于冷却、净化光刻机的物镜镜头和掩模台上的掩模板，其特征在于，所述装置包括供气源、第一固定板、第二固定板和第一净化罩，所述第一净化罩设在所述镜头上方，所述第一固定板设在所述第一净化罩上，所述第一固定板上设有出气孔，该出气孔与所述第一净化罩连通，所述第一净化罩上设有与所述供气源连通的进气口，通过该进气口将气体引入到所述镜头表面；所述第二固定板设在所述掩模板上方，所述第二固定板上设有与所述供气源连通的通气孔，通过该通气孔将气体引入到所述掩模板表面。
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