[实用新型]一种感应耦合型等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201520344912.0 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN204761821U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 于凌崧;邢云翮;庄文;颜景颢 | 申请（专利权）人： | 山东专利工程总公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 250000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种感应耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理技术领域。本实用新型处理腔室使用超材料顶板，超材料顶板包括基材层和附着在其上的金属线结构单元，在基材选定的情况下，通过改变金属线结构单元的图案、设计尺寸和/或金属线结构单元在空间中的排布获得想要的调制效果，从而可以精确控制超材料所在空间中每一点的调制，进而得到所需的调制；且在超材料顶板上设置超材料突出部，在RF天线的内侧线圈、中间线圈和外侧线圈的正下方分别形成比合成磁场更强的感应磁场；且内侧线圈、中间线圈和外侧线圈对应位置生成的等离子体能够通过施加的激发用RF的功率对等离子体的强度进行控制，处理腔室内的等离子体的控制性显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感应 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种感应耦合型等离子体处理装置，包括处理腔室、处理气体供给单元、射频单元和高频电源，其特征在于：所述处理腔室顶部气密地安装有由超材料制备而成的超材料顶板；所述超材料顶板包括基材层和附着在所述基材层上的若干金属线结构单元。
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