[实用新型]一种NH3气供应系统的侦测装置有效
申请号: | 201520334479.2 | 申请日: | 2015-05-22 |
公开(公告)号: | CN204693033U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 丁双根;太双;刁春华;周鹏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F17C13/02 | 分类号: | F17C13/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 唐棉棉 |
地址: | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置,所述装置至少包括:NH3气供应钢瓶,所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道;底部开口的盒体,所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上;支架,用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动;风管,与所述盒体相连;侦测器,安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中,当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时,风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故,及时发出警报,并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单,操作方便,适用于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 nh sub 供应 系统 侦测 装置 | ||
【主权项】:
一种NH3气供应系统的侦测装置,其特征在于,所述侦测装置至少包括:NH3气供应钢瓶,所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道;盒体,底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上;支架,支撑所述盒体并引导所述盒体移动;风管,与所述盒体相连;侦测器,安装在所述风管中。
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