[实用新型]高精度电测装置有效
申请号: | 201520320376.0 | 申请日: | 2015-05-18 |
公开(公告)号: | CN204882375U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 郑春晓 | 申请(专利权)人: | 深圳市极而峰工业设备有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01R31/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种高精度电测装置,其特征在于,该高精度电测装置包括机台底座、吸附测量平台、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴升降机构以及视觉识别机构,机台底座表面设置了吸附测量平台,在该吸附测量平台四周设置X轴移动机构和Y轴移动机构,在其中Y轴移动机构上设有Z轴升降机构,在Z轴升降机构上设置了视觉识别机构。 | ||
搜索关键词: | 高精度 装置 | ||
【主权项】:
一种高精度电测装置,其特征在于,该高精度电测装置包括机台底座、吸附测量平台、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴升降机构以及视觉识别机构,机台底座表面设置了吸附测量平台,在该吸附测量平台四周设置X轴移动机构和Y轴移动机构,在其中Y轴移动机构上设有Z轴升降机构,在Z轴升降机构上设置了视觉识别机构。
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