[实用新型]气体均匀布气装置有效
| 申请号： | 201520260211.9 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204539069U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 袁向东;许颖;袁瑒 | 申请（专利权）人： | 北京金晟阳光科技有限公司;袁向东 |
| 主分类号： | H02S30/10 | 分类号： | H02S30/10 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 100102 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气体均匀布气装置，可用于太阳电池抗PID用臭氧的布气，包括外框架，所述布气装置设置有微孔材料层，微孔材料层与外框架围成布气空间，臭氧等气体从进气孔进入布气空间后，经过多次均匀流通，最后到达最外层的微孔材料层、排出布气装置，起到了均匀布气的效果，从而保证了硅片氧化效果和均匀性。本实用新型可以对臭氧等气体均匀布气，从根本上解决臭氧布气和硅片氧化不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 均匀 装置 | ||
【主权项】：
一种气体均匀布气装置，包括外框架(5)，其特征在于：所述布气装置设置有微孔材料层(1)，微孔材料层(1)与外框架(5)围成布气空间。
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