[实用新型]一种双光束组合式激光加工头

摘要

本实用新型提供了一种双光束组合式激光加工头，包括环形光路系统和中心光路系统；环形光路系统包括第一扩束准直镜、锥透镜组和聚焦物镜，聚焦物镜将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件的表面；中心光路系统包括第二扩束准直镜、第一平面反射镜和第二平面反射镜；聚焦物镜将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件的表面；中心细圆斑的位置位于环形光路系统输出的细环形焦斑的中心。采用本实用新型所述的激光加工头进行激光打孔时，能保证良好的圆环精度即特别适合圆环形盲孔加工。并且，两个入射激光束可以使用不同波长的激光束，从而实现复合打孔加工效果，这也是传统脉冲单点打孔和切孔无法做到的。

主权项

一种双光束组合式激光加工头，其特征在于，包括环形光路系统和中心光路系统；所述环形光路系统包括第一扩束准直镜(1)、锥透镜组(2)、聚焦物镜(3)和环形喷嘴(10)，第一扩束准直镜(1)、锥透镜组(2)和聚焦物镜(3)的光轴在同一直线上，均与第一入射激光束(8)的入射方向相同；环形喷嘴(10)设置在聚焦物镜(3)的周围，与聚焦物镜(3)同轴；第一入射激光束(8)入射至第一扩束准直镜(1)，经第一扩束准直镜(1)扩束准直后，入射至锥透镜组(2)，锥透镜组(2)产生非衍射环形光束并输出至聚焦物镜(3)，聚焦物镜(3)将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件(7)的表面；所述中心光路系统包括第二扩束准直镜(4)、第一平面反射镜(5)和第二平面反射镜(6)；第二入射激光束(9)经第二扩束准直镜(4)扩束准直后，入射至第一平面反射镜(5)，经第一平面反射镜(5)反射后，入射至第二平面反射镜(6)，经第二平面反射镜(6)反射后，垂直入射至聚焦物镜(3)，聚焦物镜(3)将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件(7)的表面；所述中心细圆斑的位置位于环形光路系统输出的细环形焦斑的中心。