[实用新型]一种基于锥透镜的激光打孔加工头

摘要

本实用新型提供了一种基于锥透镜的激光打孔加工头，包括第三扩束准直镜、分束镜片、环形光路系统和中心光路系统；所述环形光路系统包括第一扩束准直镜、平凹锥透镜和F-theta镜，第三扩束准直镜、分束镜片、第一扩束准直镜、平凹锥透镜和F-theta镜的光轴在同一直线上；所述中心光路系统包括第一平面反射镜、第二扩束准直镜、第二平面反射镜和第三平面反射镜；第一平面反射镜、第二扩束准直镜和第二平面反射镜的光轴在同一直线上。本实用新型采用了时间和空间上的能量分离，入射单光束经过分束之后，通过设置不同的延时光程，造成了中心脉冲和周围环形脉冲的顺序作用，可以减小热影响区，大大提升孔边质量。

主权项

一种基于锥透镜的激光打孔加工头，其特征在于，包括第三扩束准直镜(11)、分束镜片(1)、环形光路系统和中心光路系统；入射激光束(10)入射至第三扩束准直镜(11)，经第三扩束准直镜(11)扩束准直后，入射到分束镜片(1)；所述环形光路系统包括第一扩束准直镜(2)、平凹锥透镜(3)和F‑theta镜(4)，第三扩束准直镜(11)、分束镜片(1)、第一扩束准直镜(2)、平凹锥透镜(3)和F‑theta镜(4)的光轴在同一直线上；经分束镜片(1)分束后的第一束激光束入射至第一扩束准直镜(2)，经第一扩束准直镜(2)扩束准直后，入射至平凹锥透镜(3)，平凹锥透镜(3)产生非衍射环形光束并输出至F‑theta镜(4)，F‑theta镜(4)将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件(9)的表面；所述中心光路系统包括第一平面反射镜(6)、第二扩束准直镜(5)、第二平面反射镜(7)和第三平面反射镜(8)；第一平面反射镜(6)、第二扩束准直镜(5)和第二平面反射镜(7)的光轴在同一直线上；经分束镜片(1)分束后的第二束激光束经第一平面反射镜(6)的反射后，入射至第二扩束准直镜(5)，经第二扩束准直镜(5)扩束准直后，入射至第二平面反射镜(7)，经第二平面反射镜(7)反射后，入射至第三平面反射镜(8)，经第三平面反射镜(8)反射后，入射至F‑theta镜(4)，F‑theta镜(4)将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件(9)的表面。