[实用新型]基于主动控制反应条件方式的SiC材料高效抛光装置有效
| 申请号： | 201520188290.7 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN204565865U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 楼飞燕;邓乾发;袁巨龙;吕冰海;姜熠;马亮亮 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于主动控制反应条件方式的SiC材料高效抛光装置，包括密封腔体、机架、抛光盘、工件夹具、碱性抛光液输入部件和氧化性气体输入部件，抛光盘、工件夹具均置于密封腔体内，工件夹具置于抛光盘上方，待抛光的SiC材料装夹在工件夹具的底面；抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴伸出所述密封腔体的底部，驱动主轴与主轴驱动装置连接；碱性抛光液输入部件安装在密封腔体上，碱性抛光液输入部件上装有用于控制抛光过程中抛光液的流量的流量调节阀；氧化性气体输入部件安装在密封腔体上，氧化性气体输入部件上装有用于控制抛光过程中所述密封腔内的气压大小的气压调节阀。本实用新型材料去除率较高、过程可控、低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 主动 控制 反应 条件 方式 sic 材料 高效 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种基于主动控制反应条件方式的SiC材料高效抛光装置，其特征在于：包括密封腔体、机架、抛光盘、工件夹具、碱性抛光液输入部件和氧化性气体输入部件，所述的抛光盘、工件夹具均置于所述的密封腔体内，所述工件夹具置于所述的抛光盘上方，待抛光的SiC材料装夹在所述的工件夹具的底面；所述抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴伸出所述密封腔体的底部，所述驱动主轴与主轴驱动装置连接；所述的碱性抛光液输入部件安装在所述的密封腔体上，所述的碱性抛光液输入部件上装有用于控制抛光过程中抛光液的流量的流量调节阀；所述的氧化性气体输入部件安装在所述的密封腔体上，所述的氧化性气体输入部件上装有用于控制抛光过程中所述密封腔内的气压大小的气压调节阀。
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