[实用新型]线切割工艺中用的脱胶槽有效
| 申请号： | 201520164307.5 | 申请日： | 2015-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN204566419U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王聪;陈世杰;李世杰;朱琛浩;李其甲;田会藏 | 申请（专利权）人： | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室和二级脱胶室，所述的一级脱胶室和二级脱胶室并排设置，所述的一级脱胶室和二级脱胶室的顶端都设置有密封盖，关键是：所述的一级脱胶室和二级脱胶室借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管和第二连通管，所述的第二连通管上固定有循环泵。本实用新型涉及单晶硅行业技术领域，特别是线切割工艺中用的脱胶槽。本实用新型的有益效果是，将一级脱胶室和二级脱胶室相连通，并在循环泵的作用下使两个脱胶室内的酸液循环流通，避免硅棒从一级脱胶室拿到二级脱胶室后酸液容量改变，和脱胶室静置发生分层现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 工艺 中用 脱胶 | ||
【主权项】：
线切割工艺中用的脱胶槽，包括一级脱胶室(1)和二级脱胶室(2)，所述的一级脱胶室(1)和二级脱胶室(2)并排设置，所述的一级脱胶室(1)和二级脱胶室(2)的顶端都设置有密封盖(3)，其特征在于：所述的一级脱胶室(1)和二级脱胶室(2)借助连通管相连通，所述的连通管包括第一连通管(4)和第二连通管(5)，所述的第二连通管(5)上固定有循环泵(6)。
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