[实用新型]带有接线机构的镀膜真空室

摘要

本实用新型公开了一种带有接线机构的镀膜真空室，包括有真空室舱体，所述的真空室舱体上设置有进气接口和抽真空接口，所述的真空室舱体的内壁上设置有红外加热管，所述的红外加热管包括有石英管以及设置于石英管内的电热丝，还包括有电源线，该电源线内端与电热丝电连接，所述的真空室舱体包括有底舱和底舱密封盖，该底舱内设置有横截面为正八边形且上端开口的真空腔，所述的底舱密封盖设于底舱的真空腔上端，所述的底舱的侧壁呈正八边形分布，所述的底舱侧壁上还设置有与红外加热管相对应的接线机构。本实用新型的优点是结构设置合理，并能保障一对磁控溅射靶做完全对称分布，且电热丝供电连接安全可靠。

主权项

一种带有接线机构的镀膜真空室，包括有真空室舱体，所述的真空室舱体上设置有进气接口和抽真空接口，所述的真空室舱体的内壁上设置有红外加热管，所述的红外加热管包括有石英管以及设置于石英管内的电热丝，还包括有电源线，该电源线内端与电热丝电连接，其特征在于：所述的真空室舱体包括有底舱和底舱密封盖，该底舱内设置有横截面为正八边形且上端开口的真空腔，所述的底舱密封盖密封盖设于底舱的真空腔上端，所述的底舱的侧壁呈正八边形分布，该底舱侧壁包括有相互对称的一对第一侧壁，以及与第一侧壁相邻并相互平行的一对第二侧壁和一对第三侧壁，余下的一对侧壁为第四侧壁，所述的两个第一侧壁上分别对应设置有刻度尺，其中一只第一侧壁对应于刻度尺的上方水平设置有燕尾槽，所述的燕尾槽上水平滑移设置有滑移座，该滑移座上固定设置有与另一第一侧壁相垂直的激光笔，所述的底舱侧壁上还设置有与红外加热管相对应的接线机构，该接线机构包括有导电螺栓、导电接线柱、绝缘底座、绝缘盖和压线螺栓，绝缘底座和绝缘盖分别置于底舱侧壁的内外两侧，所述的绝缘底座、底舱侧壁和绝缘盖上设置有相互同轴的有第一中心孔、第二连接孔和第三中心孔，所述的导电接线柱的外端面内设置有与压线螺栓螺纹配合的第一内螺孔，该导电接线柱内端面内设置有与第一中心孔同轴的第二内螺孔，该导电接线柱相对于第一内螺孔和第二内螺孔的内端之间横向设置有电源线接线孔，电源线接线孔的上下两端分别与第一内螺孔和第二内螺孔的内端相连通，导电螺栓包括有导电螺栓头和导电螺杆，所述的导电螺栓的导电螺杆依次从第一中心孔、第二连接孔和第三中心孔穿出且该导电螺杆的外端螺纹固定于导电接线柱的第二内螺孔中，并使得绝缘底座和绝缘盖压紧固定于底舱侧壁上，电热丝导电压接固定于导电螺栓头上，电源线插入到电源线接线孔中，并通过压线螺栓的内端将电源线导电固定于导电接线柱上。