[实用新型]掩模板定位装置有效
| 申请号： | 201520111363.2 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN204406033U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄金 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种掩模板定位装置。包括在一腔体中设置的掩模定位板，一掩模板置于所述掩模定位板上，在所述腔体外设置有检测掩模板位置的探测器，所述探测器还连接至一腔体控制器。利用本实用新型的掩模板定位装置，避免了由于掩模板位置异常所带来的良率问题，也就提升了掩模板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模板定位装置，其特征在于，包括在一腔体中设置的掩模定位板，一掩模板置于所述掩模定位板上，在所述腔体外设置有检测掩模板位置的探测器，所述探测器还连接至一腔体控制器。
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