[实用新型]一种软启动研磨盘

摘要

本实用新型涉及的一种软启动研磨盘，包括气缸，气杆，支架，研磨液输送支管，研磨液输送总管，动力机头，传动轴，上研磨盘，下研磨盘，液槽，工作箱，电磁阀，增压泵，传感器，过滤吸附机构，研磨液收集管和研磨液收集箱，所述的动力机头与传动轴连接，所述的传动轴与上研磨盘连接，所述的下研磨盘固定在液槽内，其特征在于：所述的气缸一侧设有分流器，所述的分流器与气缸的上腔和下腔连接。本实用新型中，通过调压器的设置，可以调节气缸前后之间的气压差，使得气缸前后的气压差减小，从而使得气缸在上升的过程中上升加速度减小，从而使得晶体片不易掉落，降低了报废率。

主权项

一种软启动研磨盘，包括气缸，气杆，支架，研磨液输送支管，研磨液输送总管，动力机头，传动轴，上研磨盘，下研磨盘，液槽，工作箱，电磁阀，增压泵，传感器，过滤吸附机构，研磨液收集管，研磨液收集箱，调压器，离心过滤器和散热器，所述的动力机头与传动轴连接，所述的传动轴与上研磨盘连接，所述的下研磨盘固定在液槽内，其特征在于：所述的气缸一侧设有调压器，所述的调压器与气缸的上腔和下腔连接。