[实用新型]一种直拉单晶炉有效
申请号: | 201520095832.6 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN204455351U | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 胡静 | 申请(专利权)人: | 四川恩科光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人: | 李林合 |
地址: | 620361 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种直拉单晶炉,包括炉体,炉体内设有坩埚托盘,坩埚托盘下部连接坩埚转动电机;坩埚托盘上面设有石墨坩埚,石墨坩埚的里面设有石英坩埚,石墨坩埚和石英坩埚之间设有石墨纸,石英坩埚的里面放置熔化物,石墨坩埚的外面设有加热器,加热器的外面设有保温层;石英坩埚内设有导流筒,导流筒包括外导流筒和内导流筒,外导流筒和内导流筒之间具有填充保温碳毡的保温间隙,外导流筒与内导流筒的接触部位设有增多外导流筒与内导流筒之间保温间隙容积的挡圈,导流筒的下端设有掺杂托盘;炉体上端设有晶体提升电机。本装置结构简单,保温性能好,掺杂均匀,生产晶体的过程中耗能小,生产的晶体质量稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶炉 | ||
【主权项】:
一种直拉单晶炉,其特征是,包括炉体,所述炉体内设有坩埚托盘,所述坩埚托盘下部连接坩埚转动电机,所述坩埚转动电机位于炉体外;所述坩埚托盘上面设有石墨坩埚,所述石墨坩埚的里面设有石英坩埚,所述石墨坩埚和石英坩埚之间设有石墨纸,石英坩埚的里面放置熔化物,石墨坩埚的外面设有加热器,加热器的外面设有保温层;石英坩埚内设有导流筒,所述导流筒包括外导流筒和内导流筒,所述外导流筒和内导流筒之间具有填充保温碳毡的保温间隙,所述外导流筒与内导流筒的接触部位设有增多外导流筒与内导流筒之间保温间隙容积的挡圈,导流筒的下端设有掺杂托盘;炉体上端设有晶体提升电机。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川恩科光电技术有限公司,未经四川恩科光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201520095832.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉
- 下一篇:一种电镀用3D摇摆装置