[实用新型]一种高浓度等离子体放电装置

摘要

本实用新型公开了一种高浓度等离子体放电装置，包括放电模块、框架和电源；复数个放电模块排列在框架的内部，电源设置在框架上；放电模块中，正电极为侧面设有至少2条直棱的长条状金属体，复数根正电极按设定间距相互平行排列，每根正电极的一端通过绝缘体螺钉与左边框连接，正电极的另一端通过导电体螺钉与设在右边框上的正极连接板连接；负电极为长条板状金属体，复数根负电极设在相邻两根正电极的间隙中且相互平行排列，正极连接板与负极连接板分别设在相对的左右边框上。本实用新型将正负电极设计为幕状放电，和传统局部尖端放电相比较极大地增加了等离子体发生量；且电极的前后两个面均能均匀的产生等离子体，从而等离子体浓度极大提高。

主权项

一种高浓度等离子体放电装置，包括放电模块、框架和电源；复数个放电模块以平铺形式排列在框架的内部，与放电模块相适配且连接的电源设置在框架上；其特征在于：所述放电模块包括边框、正电极、负电极和保护盖；所述边框由上边框、下边框、左边框、右边框构成一矩形框体；所述正电极为长条状金属体，且长条状金属体侧面沿其长度方向设有至少2条以锐角突起的直棱；复数根正电极按设定间距相互平行排列，每根正电极的两端分别与相对的左边框和右边框连接，其中正电极的一端通过绝缘体螺钉与左边框连接，正电极的另一端通过导电体螺钉与设在右边框上的正极连接板连接，正极连接板设有连接电源正极的接头；所述负电极为长条板状金属体，复数根负电极设在相邻两根正电极的间隙中且相互平行排列，每根负电极的两端分别与相对的左边框和右边框连接，其中负电极的一端通过绝缘体螺钉与右边框连接，负电极的另一端通过导电体螺钉与设在左边框上的负极连接板连接，负极连接板设有连接电源负极的接头；所述正极连接板与负极连接板分别设在相对的左右边框上；在左边框和右边框的外侧各固定一保护盖，保护盖内凹分别将正极连接板和负极连接板遮挡在保护盖内腔中。