[实用新型]一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统

摘要

本实用新型公开了一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统，包括旋转轴、吸盘、支撑卡盘、E型卡盘，旋转轴位于系统的中轴线上，支撑卡盘通过铆钉与旋转轴连接，支撑卡盘沿旋转轴上下移动的位置由铆钉固定；吸盘置于旋转轴的顶端；E型卡盘环绕在方形卡盘的四周，E型卡盘的下部与支撑台通过铆钉固定，E型卡盘相互交错，可通过铆钉实现水平移动。本实用新型可实现旋涂高粘稠度光刻胶时获得平整度良好的胶膜，而且适用于在不同尺寸和厚度的方形基片上旋涂光刻胶，可用于微加工和微机电系统等广泛领域。

主权项

一种用于旋涂粘稠光刻胶的旋涂仪卡盘系统，其特征在于：包括有支撑卡盘、中空的旋转轴，所述支撑卡盘通过中心通孔安装在旋转轴上，旋转轴顶端设置有吸盘，吸盘中心设置有与旋转轴内连通的小通孔，支撑卡盘顶面还设置有四个E型卡盘，每个E型卡盘的竖向剖面为E字形，四个E型卡盘在支撑卡盘顶面呈相互矩形交错状围绕在吸盘周围。