[实用新型]一种高真空机组

摘要

本实用新型公开了一种高真空机组，包括机架、旋片泵、扩散泵、电磁挡板阀、冷阱、第一手动挡板阀、第二手动挡板阀和手动蝶阀，机架底部设有行走轮；旋片泵进气口与电磁挡板阀的一端连接，电磁挡板阀的另一端通过第一波纹管连接有三通管，三通管的一个端口通过第二波纹管与第二手动挡板阀的一端连接，第二手动挡板阀的另一端与第一手动挡板阀的一端相接，第二手动挡板阀上设有抽真空端口，抽真空端口上连接有快插接头，第一手动挡板阀的另一端与冷阱连接，三通管的另一个端口与手动蝶阀的一端连接，手动蝶阀的另一端与扩散泵的出气口连接。本实用新型结构紧凑，占地面积小，预抽真空时间短，工作可靠性高、噪音小，整体移动方便。

主权项

一种高真空机组，其特征在于：包括机架(1)以及固定连接在机架(1)顶部的旋片泵(2)和扩散泵(3)，所述机架(1)的底部设置有行走轮(4)，靠近旋片泵(2)进气口的位置处设置有电磁挡板阀(5)，所述扩散泵(3)的进气口上连接有冷阱(6)，所述冷阱(6)上方设置有第一手动挡板阀(7)，所述第一手动挡板阀(7)的旁侧设置有第二手动挡板阀(8)，靠近所述扩散泵(3)的出气口的位置处设置有手动蝶阀(9)；所述旋片泵(2)的进气口与电磁挡板阀(5)的一端连接，所述电磁挡板阀(5)的另一端通过第一波纹管(10)连接有三通管(11)，所述三通管(11)未与第一波纹管(10)连接的两个端口中的其中一个端口通过第二波纹管(12)与第二手动挡板阀(8)的一端连接，所述第二手动挡板阀(8)的另一端与第一手动挡板阀(7)的一端相接，所述第一手动挡板阀(7)上设置有抽真空端口，所述抽真空端口上连接有快插接头(13)，所述第一手动挡板阀(7)的另一端与冷阱(6)连接，所述三通管(11)未与第一波纹管(10)连接的两个端口中的另一个端口与手动蝶阀(9)的一端连接，所述手动蝶阀(9)的另一端与扩散泵(3)的出气口连接。