[实用新型]一种用于无线通信系统的压电薄膜体声波谐振器

摘要

本实用新型公开了一种用于无线通信系统的压电薄膜体声波谐振器，在绝缘衬底上形成，包括分段为两个压电薄膜振动单元并包含上部电极、下部电极和压电薄膜的电薄膜振动器、连接部分和支撑件；压电薄膜振动器位于压电薄膜体声波谐振器顶端；上部电极分为左上部电极和右上部电极；下部电极分为左下部电极和右下部电极，下部电极和绝缘衬底间有间隙；上部电极和下部电极间为压电薄膜，压电薄膜分为三个压电薄膜段；连接部分位于中心位置；支撑件连接至连接部分的中心位置；薄膜压电振动器的振动节点位于中心位置；上部电极构成连接部分的前侧连接第一端子，下部电极构成连接部分的背面连接第二端子。

主权项

一种用于无线通信系统的压电薄膜体声波谐振器，形成于绝缘衬底上，其特征是：‑包括压电薄膜振动器、连接部分和支撑件；所述压电薄膜振动器具有多层结构并位于压电薄膜体声波谐振器最外层，分段为第一压电薄膜振动单元和第二压电薄膜振动单元，包括上部电极、下部电极和压电薄膜；所述上部电极位于压电薄膜振动器的顶端，分段为左上部电极和右上部电极；所述下部电极位于压电薄膜振动器的底端，分段为左下部电极和右下部电极，下部电极和绝缘衬底之间形成一个间隙，上部电极和下部电极之间为压电薄膜；所述压电薄膜夹在上部电极和下部电极之间，分段为左压电薄膜、右压电薄膜和中部压电薄膜；所述连接部分位于压电薄膜体声波谐振器的中心位置，用于连接上部电极、下部电极和中部压电薄膜，连接部分的宽度为压电薄膜振动器的宽度的四分之一；连接部分有矩形平板，矩形平板的宽度小于薄膜压电振动器的宽度；所述第一压电薄膜振动单元和第二压电薄膜振动单元的振动节点和连接部分的中心重合；所述左上部电极和右上部通过流经在连接部分中的上部电极部分的直流电流电性彼此连接，左下部电极和右下部电极也通过流经在连接部分中的下部电极部分的直流电流电性彼此连接；所述上部电极构成连接部分的前侧，从连接部分上向左上侧延伸有第一端子，下部电极构成连接部分的背面，从连接部分上向右下侧延伸有第二端子；所述第一压电薄膜振动单元和第二压电薄膜振动单元关于连接部分左右对称设置，且相互电性连接；所述支撑件设置在连接部分的中心，并连接到位于绝缘衬底上的压电薄膜振动器的振动节点，以支撑压电薄膜振动器的振动节点；所述支撑件的宽度小于薄膜压电振动器的宽度。