[实用新型]一种掩模板

摘要

本实用新型公开了一种掩模板，用以通过该掩模板实现目标基板上线宽更窄，线宽一致的图形结构。本实用新型提供的掩模板包括：狭缝状透光区域和不透光区域，所述狭缝状透光区域的每一个边缘具有凸起区域和凹陷区域；所述凸起区域和凹陷区域为等腰梯形状；所述两个边缘的凸起区域镜像对称，两个边缘的凹陷区域镜像对称；每一个边缘中相邻的凹陷区域和凸起区域形状相同且大小相同；两个边缘中镜像对称的凸起区域之间的距离为1-3μm，以及凹陷区域之间的距离为3-4μm。

主权项

一种掩模板，包括：狭缝状透光区域和不透光区域，其特征在于，所述狭缝状透光区域的每一个边缘具有凸起区域和凹陷区域；所述凸起区域和凹陷区域为等腰梯形状；所述两个边缘的凸起区域镜像对称，两个边缘的凹陷区域镜像对称；每一个边缘中相邻的凹陷区域和凸起区域形状相同且大小相同；两个边缘中镜像对称的凸起区域之间的距离为1‑3μm，以及凹陷区域之间的距离为3‑4μm。