[实用新型]一种气体混合物料的配料装置

摘要

本实用新型公开了一种气体混合物料的配料装置，包括第二容器，第二容器底部接口通过Ⅰ号直通阀与第一容器连通，顶部端口自下而上依次设置有Ⅲ号直通阀、四通接头和Ⅱ号直通阀，四通接头的一端依次设置有Ⅴ号直通阀、软管、Ⅰ号三通接头，Ⅰ号三通接头的一端设置有质量流量计，另一端通过Ⅶ号直通阀与第二容器侧壁接口连通，四通接头的另一端依次设置有Ⅳ号直通阀、软管、Ⅱ号三通接头，Ⅱ号三通接头的一端设置有质量流量计，另一端通过Ⅷ号直通阀与第二容器侧壁另一接口连通。本实用新型实现了N₂或O₂、HF的不间断混合供料和定量调整，并保证了上述物料在各自流量稳定不变的情况下能够均匀混合，此外通过体积法控制HF、N₂或O₂的流量，既解决了物料流量区别大不便于分别配制，又解决了对物料流量调整时操作复杂等问题。

主权项

一种气体混合物料的配料装置，包括第二容器（2），其特征在于：第二容器（2）底部接口通过Ⅰ号直通阀（3）与第一容器（1）连通，顶部端口自下而上依次设置有Ⅲ号直通阀（12）、四通接头（7）和Ⅱ号直通阀（4），四通接头（7）的一端依次设置有Ⅴ号直通阀（14）、软管（9）、Ⅰ号三通接头（6a），Ⅰ号三通接头（6a）的一端设置有质量流量计（5），另一端通过Ⅶ号直通阀（16）与第二容器（2）侧壁接口连通，四通接头（7）的另一端依次设置有Ⅳ号直通阀（13）、软管（9）、Ⅱ号三通接头（6b），Ⅱ号三通接头（6b）的一端设置有质量流量计（5），另一端通过Ⅷ号直通阀（17）与第二容器（2）侧壁另一接口连通，第二容器（2）侧壁出设置有Ⅵ号直通阀（15），底部接口径向设置有压力计（8）。