[发明专利]具有差动对的电容式感测系统在审

专利信息
申请号: 201511036369.9 申请日: 2010-12-29
公开(公告)号: CN108151773A 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: G·德波尔;J·J·J·范巴尔;K·P·帕德耶;R·莫赛尔;N·弗吉尔;S·W·H·K·斯廷布林克 申请(专利权)人: 迈普尔平版印刷IP有限公司
主分类号: G01D5/241 分类号: G01D5/241;G01D3/036;G01B7/02;G03F9/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 高巍
地址: 荷兰*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明提供一种电容式感测系统,包括两个或更多个电容式传感器(30a、30b)、用于供电给该电容式传感器的一个或多个AC电源(306a、306b)、以及用于处理来自传感器的信号的信号处理电路。这些传感器被布置成对,其中一个或多个AC电源被配置成以交流电流(307)或电压供电给一对传感器中的第一传感器,该交流电流或电压与供给该对传感器中的第二传感器的电流或电压相位相差180度,且其中一对传感器提供针对单一测量距离数值的测量单元,该信号处理电路从该对传感器中的每一传感器接收输出信号,并产生有关于该对传感器与靶材(9)间的平均距离的测量数值。
搜索关键词: 传感器 电容式感测系统 信号处理电路 交流电流 电容式传感器 第二传感器 第一传感器 供电 测量单元 单一测量 电压相位 多个电容 平均距离 输出信号 靶材 差动 成对 测量 配置
【主权项】:
一种电容式感测系统,包括用于测量所述电容式传感器与靶材之间的距离的两个或更多个电容式传感器、用于为所述电容式传感器供电的一个或多个AC电源、以及用于处理来自所述电容式传感器的信号的信号处理电路,其中所述传感器被成对配置,其中所述一个或多个AC电源被配置成以交流电流或电压为一对传感器中的第一传感器供电,该交流电流或电压与供应给该对传感器中的第二传感器的电流或电压相位相差180度,且其中所述信号处理电路配置成从该对传感器中的每一传感器接收输出信号,并基于接收到的输出信号产生有关于该对传感器与靶材间的平均距离的测量数值。
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