[发明专利]气体管路泄露及压力波动的检测装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 201511026551.6 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN105605431A 公开(公告)日: 2016-05-25
发明(设计)人: 杨卫枫;吴钧敏 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: F17D5/02 分类号: F17D5/02;F17D5/00
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 丁纪铁
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种气体管路泄露及压力波动的检测装置,包含:一导气管,且导气管上安装有阀门组;一螺旋弹簧管,其尾端由一卡件固定,螺旋弹簧管的尾端与导气管连接;弹簧管的首端为自由端,进入弹簧管内气体的压力及流量的变化能使自由端自由摆动;一转轴,该转轴固定于一转轴架上,转轴通过连接件连接弹簧管的首端;记录装置,该记录装置通过一摆动臂安装在转轴上,当转轴转动时,带动摆动臂摆动,使记录装置形成运动;机械传动装置,由多个齿轮构成齿轮组驱动一圆盘转动,圆盘上放置带刻度的圆形记录纸;所述记录装置通过摆动臂悬浮于圆形记录纸的上方,在记录纸上形成画线。本发明还公开了所述气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法。
搜索关键词: 气体 管路 泄露 压力 波动 检测 装置 方法
【主权项】:
一种气体管路泄露及压力波动的检测装置,其特征在于:包含:一导气管,该导气管与气体管路连接,并且在导气管上安装有阀门组,控制导气管内气体的流通;一弹簧管,该弹簧管呈螺旋弹簧状,具备首尾两端,其尾端有一卡件将其固定,并且螺旋弹簧管的尾端与导气管连接,导体管内的气体通过阀门进入螺旋弹簧内;弹簧管的首端为自由端,进入弹簧管内气体的压力及流量的变化能使自由端自由摆动;一转轴,该转轴固定于一转轴架上,转轴通过连接件连接弹簧管的首端,当首端摆动时,通过连接件带动转轴形成转动;记录装置,该记录装置通过一摆动臂安装在转轴上,当转轴转动时,带动摆动臂摆动,使记录装置形成运动;机械传动装置,由多个齿轮构成齿轮组驱动一圆盘转动,圆盘上放置带刻度的圆形记录纸,圆盘圆心处有一帽托对圆形记录纸施加向下的压力,固定圆形记录纸;所述记录装置通过摆动臂悬浮于圆形记录纸的上方,并且记录装置与记录纸接触,在记录纸上形成画线轨迹。
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