[发明专利]一种声学扫描显微镜检测系统分离式器件定位装置

摘要

本发明是一种声学扫描显微镜检测系统分离式器件定位装置。本装置包括：自粘垫板、样品盒、定位螺钉、定位块、装置底座。通过上述装置，可以有效解决塑封器件在声学扫描检测系统调节阶段浸水性以及塑封器件被检过程中检测探头快速移动引起器件浮起、错位的问题，有助于设计人员设计出操作性强、适应性高、可重复利用的声学扫描显微镜检测系统器件定位装置，具有良好的实用价值和经济效益。

主权项

1.一种声学扫描显微镜检测系统分离式器件定位装置，其特征在于：该定位装置包括一个底座(5)和成排地安装在底座(5)上的样品盒(2)，每个样品盒(2)上加工有三个用于水平调整的竖直的螺纹通孔(10)，这三个螺纹通孔(10)的位置在水平方向构成一个等边三角形，这三个螺纹通孔(10)与加工在底座(5)的上表面上的三个盲孔相对应，在每一个盲孔内安装一个顶部带V型槽的定位块(4)，前端为半圆形的螺钉(3)穿过样品盒(2)上的螺纹通孔(10)插装在盲孔内，螺钉(3)前端的半圆形球面夹装在定位块(4)的V型槽内，三个螺钉(3)在螺纹通孔(10)内旋转并带动样品盒(2)上下移动来调整样品盒(2)表面的水平，在样品盒(2)的表面设置一块硅胶防滑垫(1)，在硅胶防滑垫(1)上放置待检的塑封电子元器件；在样品盒(2)和底座(5)的中心处加工有一个上、下位置相对应的凹槽，该上、下位置相对应的凹槽内分别设置有一个上磁铁块(8)、下磁铁块(9)，上磁铁块(8)、下磁铁块(9)的底部分别通过上紧固螺栓(6)、下紧固螺栓(7)固定，上磁铁块(8)、下磁铁块(9)吸合使样品盒(2)能够固定在底座(5)上；所述分离式声学扫描检测系统定位装置硅胶防滑垫(1)的材料为硅胶，样品盒(2)和底座(5)采用有机玻璃，半圆形的螺钉(3)和定位块(4)采用不锈钢，上磁铁块(8)、下磁铁块(9)、上紧固螺栓(6)和下紧固螺栓(7)采用钕磁体，这些材料可重复使用，均不会与媒介发生反应；所述分离式声学扫描检测系统定位装置在首次使用时，样品盒(2)表面通过半圆形的螺钉(3)和带V型槽的定位块(4)调整水平，后续不再需要调平，对于大批量塑封电子元器件检测，使用时可先将用于设置检测参数的样品盒(2)置于媒介，设置完成后再将其余放置塑封电子元器件的样品盒(2)置于媒介。