[发明专利]用于射线辐照实验的探针台系统及实验方法有效
| 申请号： | 201511018687.2 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105652174B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 池雅庆;梁斌;孙永节;郭阳;陈书明 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用于射线辐照实验的探针台系统及实验方法，该系统包括：探针，固定在探针座上；探针台，包括探针台架和样品托板，所述样品托板上安装有用来放置待测芯片的射线辐射屏蔽盒；在所述射线辐射屏蔽盒上与探针对着的侧面壁上设有狭缝，所述探针的尖端通过狭缝进入射线辐射屏蔽盒接触待测芯片的输入输出接口；所述显微镜和射线发生装置，安装在探针台的探针台架上，且所述显微镜和射线发生装置在探针台架上可移动。该方法是基于上述系统来实现的。本发明能够减小辐射源发射的射线对除待测芯片之外其它含有集成电路部件的影响、从而延长整体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 射线 辐照 实验 探针 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，它包括：探针（17），固定在探针座（7）上；探针台（2），包括探针台架（11）和样品托板（13），所述样品托板（13）上安装有用来放置待测芯片（15）的射线辐射屏蔽盒（14）；在所述射线辐射屏蔽盒（14）上与探针（17）对着的侧面壁上设有狭缝，所述探针（17）的尖端通过狭缝进入射线辐射屏蔽盒（14）接触待测芯片（15）的输入输出接口；显微镜（12）和射线发生装置（3），安装在探针台（2）的探针台架（11）上，且所述显微镜（12）和射线发生装置（3）在探针台架（11）上可移动。
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