[发明专利]一种产生冷等离子体刷的装置及方法

摘要

本发明提供了一种产生冷等离子体刷的装置及方法。本发明中的装置包括供气机构、输气机构、供电机构和电极机构；供气机构用于提供工作用放电气体，输气机构是由绝缘材料制成的狭缝型气道，调节供气机构中的流量计，以使放电气体在狭缝型气道内以层流态流动，由狭缝型气道流出的气体进入开放的放电空间；电极机构包括平行且相对设置的线电极和板电极，线电极位于狭缝型气道内且靠近出气口处，供电机构给线电极提供交流高电压，板电极接地线，即可在两个电极之间形成许多微流光，形成视觉上明亮均匀的等离子体刷。通过本发明中的装置，可在线电极和板电极之间形成冷等离子体刷，且所形成的等离子体刷具有尺度大、温度低、化学活性高等优点。

主权项

一种产生冷等离子体刷的装置，其特征是，包括供气机构、输气机构、供电机构和电极机构；所述供气机构包括供气管路和提供放电气体的储气罐；所述储气罐通过所述供气管路与所述输气机构相接；在所述供气管路上设置有气阀、气压表和流量计；所述输气机构是由绝缘材料制成的狭缝型气道，所述狭缝型气道由两块相对的石英玻璃及两条玻璃条合围而成，两条玻璃条分别设置在两块石英玻璃的上下端之间，所述狭缝型气道的横截面为狭缝型结构；所述狭缝型气道的一端为进气口，所述狭缝型气道的另一端为出气口；所述进气口与所述供气管路相接；实施过程中，通过调节流量计使放电气体在输气机构的狭缝型气道内以层流态流动；所述狭缝型气道的长度为2cm~20cm，所述狭缝型气道的横截面的长边大于2cm且小于5cm，所述狭缝型气道的横截面的短边小于5mm；所述电极机构包括平行且相对设置的线电极和板电极，所述线电极穿过所述输气机构的狭缝型气道内且靠近所述出气口处，所述线电极与所述狭缝型气道的横截面的长边平行；所述板电极的边缘具有小的曲率，以避免出现尖端放电；所述线电极具有大的曲率，以在其附近区域产生电晕放电从而降低放电击穿电压值；在所述线电极的两端设置有束紧装置，所述束紧装置用于使所述线电极保持呈直线状态；所述束紧装置包括相互匹配的螺母和螺栓，所述螺栓具有中空的轴芯，所述线电极的端部穿过所述螺栓的轴芯并与所述螺栓固接；所述供电机构包括高压交流电源，所述高压交流电源的高压输出端与所述线电极电连接，所述高压交流电源的接地端通过所述板电极接地线。