[发明专利]旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的装置及方法有效
| 申请号： | 201510962238.7 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105571514B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘钰;苗亮;张文龙;马冬梅;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 于晓庆 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的装置及方法，涉及高精度光学元件面形检测领域，解决了现有方法存在的检测调整时间长、过程复杂的问题。该方法为整光学元件使干涉仪条纹为零条纹，记录第二调整机构在X，Y方向倾斜位置信息(X1，Y1)；将转台旋转180度，倾斜调整光学元件使干涉仪条纹为零条纹，记录第二调整机构在X，Y方向倾斜位置信息(X2，Y2)；将第二调整机构倾斜调整到((X1+X2)/2，(Y1+Y2)/2)位置，转台转轴与干涉仪光轴一致；用第一调整机构平移调整光学元件使干涉仪条纹为零条纹，光学元件光轴与干涉仪光轴一致，最后干涉仪光轴、光学元件光轴及转台转轴同轴，光学元件调整到位。本发明结构简单、成本低、调整快速、精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件 干涉仪 条纹 调整机构 光轴 光轴一致 快速调节 倾斜调整 倾斜位置 旋转平移 转台转轴 检测法 高精度光学元件 光学元件调整 面形检测 平移调整 转台 记录 同轴 检测 | ||
【主权项】：
1.旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的方法，其特征在于，采用旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的的装置实现的，该装置包括：干涉仪(1)、安装在干涉仪(1)下端的透射球面波系统(2)、第二调整机构(7)、安装在第二调整机构(7)上的转台(6)、安装在转台(6)上的第一调整机构(5)、安装在第一调整机构(5)上的检测支撑平台(4)、安装在检测支撑平台(4)上的被检光学元件(3)；通过第一调整机构(5)调整被检光学元件(3)的倾斜、偏心以及离焦，使得被检光学元件(3)的光轴与干涉仪(1)的光轴相一致，通过旋转转台(6)使被检光学元件(3)位于不同角度的检测位置，通过第二调整机构(7)调整转台(6)的倾斜和偏心使转台(6)的转轴与干涉仪(1)的光轴相一致；该方法包括以下步骤：步骤一、利用第二调整机构(7)调整被检光学元件(3)，使干涉仪(1)的CCD上的干涉仪条纹为零条纹，记录此时第二调整机构(7)在X方向和Y方向倾斜位置信息(X1，Y1)；步骤二、将转台(6)旋转180度，利用第二调整机构(7)倾斜调整被检光学元件(3)，使干涉仪(1)的CCD上的干涉仪条纹为零条纹，记录此时第二调整机构(7)在X方向和Y方向倾斜位置信息(X2，Y2)；步骤三、将第二调整机构(7)倾斜调整到((X1+X2)/2，(Y1+Y2)/2)位置，此时转台(6)的转轴与干涉仪(1)的光轴一致；步骤四、利用第一调整机构(5)平移调整被检光学元件(3)，使干涉仪(1)的CCD上的干涉仪条纹为零条纹，此时被检光学元件(3)的光轴与干涉仪(1)的光轴一致，经过上述调整之后干涉仪(1)光轴、被检光学元件(3)光轴以及转台(6)转轴的空间位置一致，被检光学元件(3)调整到位。
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