[发明专利]一种层压式电流体动力微泵

摘要

本发明涉及一种层压式电流体动力微泵，包括负极导线、正极导线和由下往上依次叠设的多个电极对单元，所述的电极对单元包括由下往上依次叠设的第二绝缘垫片、集电极件、第一绝缘垫片、发射极件；所述第二绝缘垫片的厚度大于第一绝缘垫片的厚度，所述的负极导线依次穿过每个电极对单元的集电极件，所述的正极导线依次穿过每个电极对单元的发射极件；所述发射极件、第一绝缘垫片、集电极件、第二绝缘垫片的端面均设有中心通孔，从上往下看，所述的所有中心通孔形成流动通道。本发明能良好的驱动流体的流动，达到良好的散热效果，属于微电子散热和微流控的技术领域。

主权项

1.一种层压式电流体动力微泵，其特征在于：包括负极导线、正极导线和由下往上依次叠设的多个电极对单元，所述的电极对单元包括由下往上依次叠设的第二绝缘垫片、集电极件、第一绝缘垫片、发射极件；所述第二绝缘垫片的厚度大于第一绝缘垫片的厚度，所述的负极导线依次穿过每个电极对单元的集电极件，所述的正极导线依次穿过每个电极对单元的发射极件；所述发射极件、第一绝缘垫片、集电极件、第二绝缘垫片的端面均设有中心通孔，从上往下看，所有中心通孔形成流动通道；所述的发射极件和集电极件均由金属环制成；作为发射极件的金属环端面的左边设有用于正极导线穿过的正极通孔，该金属环端面的右边设有正极缺口；作为集电极件的金属环端面的右边设有用于负极导线穿过的负极通孔，该金属环端面的左边设有负极缺口；从上往下看，所述的正极通孔落在负极缺口的范围内，所述的负极通孔落在正极缺口的范围内；所述的第一绝缘垫片和第二绝缘垫片的左右两边均设有边缘缺口，从上往下看，所述的正极通孔落在左边的边缘缺口的范围内，所述的负极通孔落在右边的边缘缺口的范围内；所述的所有中心通孔形成圆柱形的流动通道；从上往下看，所述金属环的轮廓线由第一圆弧和第一弦围成，所述中心通孔所在的圆与第一圆弧所在的圆为同心圆；所述的第一弦和所述的正极通孔或负极通孔分居金属环的左右两边；从上往下看，所述的第一绝缘垫片和第二绝缘垫片的轮廓线依次由左边的第二弦、后边的第二圆弧、右边的第二弦、前边的第二圆弧围成，所述中心通孔所在的圆与第二圆弧所在的圆为同心圆；所述第一绝缘垫片的厚度范围≤0.5mm；所述第一绝缘垫片的厚度为0.2mm，所述第二绝缘垫片的厚度为0.4mm；所述金属环的中心通孔的孔径为4mm，第一圆弧的直径为6mm，所述正极通孔或负极通孔的孔径为0.3mm；所述电极对单元的数量为10个。