[发明专利]一种XY精密定位平台

摘要

本发明公开了一种XY精密定位平台，包括有基板，基板上沿X向安装有相互平行的X轴的主动导轨运动子系统、支撑导轨运动子系统，基板上沿Y向安装有Y轴的主动导轨运动子系统、支撑导轨运动子系统，且X轴、Y轴的主动导轨运动子系统结构相同，X轴、Y轴的支撑导轨运动子系统结构相同；还包括二维位置检测系统，二维位置检测系统由X轴的主动导轨运动子系统、支撑导轨运动子系统、Y轴的主动导轨运动子系统、支撑导轨运动子系统共同带动实现X向、Y向运动。本发明可避免以往XY精密定位平台中两个运动系统层叠式结构，不会产生阿贝误差，具有较高的定位精度。

主权项

一种XY精密定位平台，包括有基板，其特征在于：基板上沿X向安装有相互平行的X轴的主动导轨运动子系统和支撑导轨运动子系统，X轴的主动导轨运动子系统、X轴的支撑导轨运动子系统之间一侧的基板上沿Y向安装有Y轴的主动导轨运动子系统，X轴的主动导轨运动子系统、X轴的支撑导轨运动子系统之间另一侧的基板上沿Y向安装有Y轴的支撑导轨运动子系统，且X轴的主动导轨运动子系统与Y轴的主动导轨运动子系统结构相同，X轴的支撑导轨运动子系统与Y轴的支撑导轨运动子系统结构相同；每个方向上的主动导轨运动子系统分别包括安装在基板上并沿所在方向一字排列的丝杆固定座、丝杆支撑座，丝杆固定座、丝杆支撑座之间沿所在方向支撑有滚珠丝杆螺母副，滚珠丝杆螺母副两侧的基板上分别沿所在方向设置有导轨，导轨上分别滑动安装有滑块，两滑块之间固定安装有连接板，连接板底部与滚珠丝杆螺母副中螺母固定连接，丝杆固定座上安装有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆螺母副中滚珠丝杆一端传动连接；每个方向上的支撑导轨运动子系统分别包括沿所在方向设置在基板上的两导轨，两导轨上分别安装有滑块，两导轨上滑块之间通过连接板相连；二维位置检测系统由X轴支撑导轨、X轴支撑滑块、Y轴支撑导轨、Y轴支撑滑块、工作台、二维平面光栅固定支座、二维平面光栅、读数头支架、二维平面光栅读数头构成，其中Y轴支撑导轨两端分别固定在X轴的主动导轨运动子系统中连接板与X轴的支撑导轨运动子系统中连接板上，Y轴支撑滑块滑动安装在Y轴支撑导轨上，所述二维平面光栅固定支座固定在Y轴支撑滑块底部，二维平面光栅读数头通过读数头支架固定在二维平面光栅固定支座底面，所述X轴支撑导轨架设在Y轴支撑滑块上方，且X轴支撑导轨两端分别固定在Y轴的主动导轨运动子系统中连接板与Y轴的支撑导轨运动子系统中连接板上，X轴支撑滑块滑动安装在X轴支撑导轨上，X轴支撑滑块底部与Y轴支撑滑块顶部固定连接，所述工作台固定在X轴支撑滑块顶部。