[发明专利]一种SF6 有效
| 申请号： | 201510926299.8 | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106872564B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 李璐;陈硕;高晓光;何秀丽;贾建;单来之;高慧;高运兴 | 申请（专利权）人： | 国网智能电网研究院;国家电网公司;国网山东省电力公司泰安供电公司 |
| 主分类号： | G01N27/68 | 分类号： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种SF |
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| 搜索关键词： | 一种 sf base sub | ||
【主权项】：
一种SF6气体传感器，所述传感器包括直流电源和电极，其特征在于，所述电极由对应设置的平板电极和硅尖阵列电极组成，其间设有绝缘膜。
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