[发明专利]一种液动压悬浮抛光装置

摘要

一种液动压悬浮抛光装置，主要包括光学隔振平台、升降台、伺服电机、主轴、抛光工具盘，抛光液容器放置于光学隔振平台上，压力传感器安装在抛光工具盘上，抛光工具盘通过第二联轴器与主轴连接，伺服电机通过第一联轴器与主轴连接，电机支架固定在升降台上。本发明的优点是：采用了抛光液浸没抛光工具和工件的浸液环境，有利于降低抛光过程摩擦热带来的负面作用，通过伺服电机直接驱动抛光工具的旋转，避免了复杂的传动环节造成的误差积累从而提高了加工精度，抛光工具盘的悬浮力源自液体动压形成的上浮力并可以通过微动调节旋钮调节抛光盘悬浮的间隙，采用导电滑环的方式有效的实现了压力传感器在旋转状态下的测量。

主权项

一种液动压悬浮抛光装置，其特征在于：包括抛光系统、压力检测系统、光学隔振系统和升降系统，所述光学隔震系统为作为整个装置底座的光学隔振平台(1)，所述抛光系统包括抛光工具盘(11)、抛光液容器(2)、主轴(4)、第一联轴器(5)、第二联轴器(3)、伺服电机(6)和电机支架(7)，抛光液容器(2)固定在抛光工具盘(11)正下方的光学隔振平台(1)上，伺服电机(6)竖直固定在电机支架(7)上，伺服电机(6)的输出端通过第一联轴器(5)连接主轴(4)的上端，主轴(4)的下端通过第二联轴器(3)连接抛光工具盘(11)，所述主轴(4)通过轴承座固定在电机支架(7)上；所述升降装置固定在光学隔振平台(1)上，电机支架(7)固定在升降装置上。