[发明专利]通过程序降温提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法有效
| 申请号： | 201510897491.9 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105510402B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张顺平;雷涛;谢长生 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法，该方法是在洁净背景气氛下，将金属氧化物气体传感器在特定工作温度(200‑400℃)稳定，然后设定降温速度为1‑50℃/s范围内的某一特定速度，程序降温到特定低温(室温‑200℃)，获得传感器的电阻随温度的变化曲线Rair‑T，作为基底信号；检测气体氛围下，以相同流程控制传感器温度，获得传感器的电阻随温度的变化曲线RGas‑T，作为响应信号；将基底信号与响应信号相除，得到Rair/RGas‑T的曲线，取该曲线上的最大值max(Rair/RGas)，作为对该气体的敏感度。本发明在不改变金属氧化物材料组分下，相比恒定工作温度测试的方法大幅度提高了气体传感器的敏感活性，增大气体敏感度，从而实现低浓度级别(ppb级)气体的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 程序 降温 提高 金属 氧化物 传感器 气体 敏感度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法，其特征在于：洁净背景气氛下，将金属氧化物气体传感器在某一工作温度下稳定，之后以降温速度范围为1℃/s‑50℃/s进行程序降温到某一低温，使高温时表面吸附的高活性粒子能保留到低温下的材料表面，保证表面的高活性粒子能长时间稳定存在，并拥有较高的敏感活性，所述工作温度的范围为200‑400℃，所述低温的范围为室温‑40℃；获得传感器的电阻随温度的变化曲线Rair‑T，作为基底信号；检测气体氛围下，以相同流程控制传感器温度，获得传感器的电阻随温度的变化曲线RGas‑T，作为响应信号；将基底信号与响应信号相除，得到Rair/RGas‑T的曲线，取该曲线上的最大值max(Rair/RGas)，作为对该气体的敏感度；在从工作温度程序降温到低温过程中，高温下金属氧化物材料表面的高活性吸附粒子，由于来不及脱附而保留在表面，提高了对气体的敏感度，从而实现对更低浓度级别气体的敏感。
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