[发明专利]一种印刷电路板酸、碱性氯化铜蚀刻废液循环利用装置及其方法

摘要

本发明涉及一种印刷电路板酸、碱性氯化铜蚀刻废液循环利用装置，由萃余液罐、萃余液进料泵、棉芯过滤器、有机过滤器、压力表、流量计、清洗水槽及仪表控制系统组成，其中有机过滤器为并联的两组，其中装有有机过滤膜组件；采用两组有机过滤器并联方式运行，由于使用了超滤膜或纳滤膜，除去了印刷电路板酸、碱性氯化铜蚀刻废液经过萃取后的萃余液（再生液）中有机物，实现了在线过滤方式，结构简单、造价低、操作方便。通过在线过滤的方法就可以有效的过滤萃余液(再生液)中有机杂质，提升印制电路板高密度互联（HDI）产品蚀刻工艺精度及效率。本发明还公开了印刷电路板酸、碱性蚀刻废液循环利用方法。

主权项

1.一种印刷电路板酸、碱性氯化铜蚀刻废液循环利用装置，由萃余液罐、萃余液进料泵、棉芯过滤器、有机过滤器、压力表、流量计、清洗水槽及仪表控制系统组成，其中有机过滤器为并联的两组，其中装有有机过滤膜组件；萃余液由管道接入萃余液罐，萃余液罐下部通过管道与萃余液进料泵进口相连，萃余液进料泵出口与有机过滤器底部进口相连，其中，萃余液进料泵出口与有机过滤器底部进口相连的管道安有棉芯过滤器、压力表与流量计，压力表与流量计位于棉芯过滤器与有机过滤器底部进口之间的管道上；有机过滤器顶部出口是经过过滤后用于回收利用的萃余液出口，同时也是反冲清洗水的进口；有机过滤器侧面有两个浓缩的有机物出口；清洗水槽与有机过滤器顶部出口相连，在相连的管道上设有压力表与流量计，清洗水槽与有机过滤器通过管道形成循环回路；其中萃余液进料泵采用耐酸碱磁力泵浦，采用仪表控制系统通过压力表和流量计控制有机过滤膜组的压力及流量。