[发明专利]高次谐振型原子力显微镜微悬臂及其制作方法

摘要

本发明公开一种高次谐振型原子力显微镜微悬臂及其制作方法。其中，所述高次谐振型微悬臂包括：固定端和自由端，所述固定端和所述自由端连成一体，所述固定端的厚度比所述自由端的厚度大dμm，以使得所述高次谐振型微悬臂的高阶本征模式频率为基础模式频率的整数倍，其中，d为正有理数。本发明提供的高次谐振型微悬臂及其制作方法，调谐了高阶本征模式频率与基础模式频率的耦合，可以实现除基础模式频率外更多频率信号的探测，能够提供很高的灵敏度和分辨率，从而实现高次谐振型微悬臂的针尖与样品之间力的非线性以及样品更多物性的探测和研究。

主权项

一种高次谐振型微悬臂，其特征在于，所述高次谐振型微悬臂包括：固定端和自由端，所述固定端和所述自由端连成一体，所述固定端的厚度比所述自由端的厚度大dμm，以使得所述高次谐振型微悬臂的高阶本征模式频率为基础模式频率的整数倍，其中，d为正有理数。