[发明专利]压阻式恒温控制振荡器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510830774.1 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106788316B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨恒;游卫龙;张磊;王小飞;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/08 | 分类号： | H03H9/08;H03H9/19;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压阻式恒温控制振荡器及其制备方法，包括：谐振结构、加热梁、多晶硅高阻层、第一绝缘层及加热电阻；谐振结构包括纵向振动梁及第一电极；纵向振动梁的数量为两根，两根纵向振动梁平行间隔排布；第一电极位于两根纵向振动梁的两端，并将两根纵向振动梁相连接；纵向振动梁及第一电极均沿单晶硅<100>晶向族方向分布；加热梁贯穿两根纵向振动梁；多晶硅高阻层位于两根纵向振动梁之间，且将加热梁隔断为两部分；第一绝缘层及加热电阻由下至上依次覆盖于加热梁的上表面。在两根纵向振动梁之间制作多晶硅高阻层，可实现对振荡器进行压阻检测；多晶硅高阻层将位于其两侧的加热梁连接成双端固支梁，可显著减小加热梁变形对谐振结构的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻式 恒温 控制 振荡器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压阻式恒温控制振荡器，其特征在于，所述压阻式恒温控制振荡器包括：谐振结构、加热梁、多晶硅高阻层、第一绝缘层及加热电阻；所述谐振结构及所述加热梁的材料均为N型重掺杂单晶硅；所述谐振结构包括纵向振动梁及第一电极；所述纵向振动梁的数量为两根，所述两根纵向振动梁平行间隔排布；所述第一电极位于所述两根纵向振动梁的两端，并将所述两根纵向振动梁相连接；所述纵向振动梁及所述第一电极均沿单晶硅<100>晶向族方向分布；所述加热梁贯穿所述两根纵向振动梁；所述多晶硅高阻层位于所述两根纵向振动梁之间，且将所述加热梁隔断为两部分；所述第一绝缘层及所述加热电阻由下至上依次覆盖于所述加热梁的上表面。
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