[发明专利]一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承及其使用方法

摘要

一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承及其使用方法，它至少由：轴承体(1)、承载面(2)、多孔材料节流器(3)、供气孔I(4)、排气槽I(5)、回流孔I(6)、排气槽II(7)、回流孔II(8)、真空泵I(9)、真空泵II(10)、调压阀I(11)、气体压缩机I(12)、气体压缩机II(13)、调压阀II(14)、真空泵III(15)、回流孔III(16)、供气孔II(17)和小孔节流器(18)组成，本发明可以大幅提高真空环境中静压气体轴承的承载能力、刚度等静态特性，同时便于调整轴承的动态特性和最佳气膜厚度，减小润滑气体向真空环境泄漏。

主权项

一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承，它至少由：轴承体(1)、承载面(2)、多孔材料节流器(3)、供气孔I(4)、排气槽I(5)、回流孔I(6)、排气槽II(7)、回流孔II(8)、真空泵I(9)、真空泵II(10)、调压阀I(11)、气体压缩机I(12)、气体压缩机II(13)、调压阀II(14)、真空泵III(15)、回流孔III(16)、供气孔II(17)和小孔节流器(18)组成，其特征在于，所述的轴承体(1)上设置小孔节流器(18)、多孔材料节流器(3)、排气槽I(5)、排气槽II(7)和回流孔III(16)，小孔节流器(18)通过供气孔I(4)与调压阀II(14)的出气口连通，调压阀II(14)的进气口与气体压缩机II(13)的出气口连通，多孔材料节流器(3)通过供气孔II(17)与调压阀I(11)的出气口连通，调压阀I(11)的进气口与气体压缩机I(12)的出气口连通，排气槽I(5)通过回流孔I(6)与真空泵II(10)的进气口连通，排气槽II(7)通过回流孔II(8)与真空泵I(9)的进气口连通，回流孔III(16)与真空泵III(15)的进气口连通。