[发明专利]大行程二维纳米伺服平台及采用光栅的测量方法

摘要

本发明公开了一种大行程二维纳米伺服平台和采用光栅的测量方法。所述大行程二维纳米伺服平台包括基座；终端平台；X向和Y向驱动器；与X向驱动器相连的第一X向刚性连接件和与Y向驱动器相连的第一Y向刚性连接件；第一Y向和第一X向柔性解耦件；第一和第二X向柔性导向件，第一和第二X向柔性导向件沿X向间隔开地设置且与基座和第一X向刚性连接件相连；第一和第二Y向柔性导向件，第一和第二Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置且与基座和第一Y向刚性连接件相连；以及X向光栅和Y向光栅。根据本发明实施例的大行程二维纳米伺服平台具有结构简单、制造成本低、便于使用、便于测量终端平台的平面位移等优点。

主权项

一种大行程二维纳米伺服平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向刚性连接件和第一Y向刚性连接件，所述第一X向刚性连接件沿X向延伸且与所述X向驱动器相连，所述第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述Y向驱动器相连；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性解耦件，所述第一Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第一X向刚性连接件相连，所述第一X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第一Y向刚性连接件相连；第一X向柔性导向件和第二X向柔性导向件，所述第一X向柔性导向件和所述第二X向柔性导向件沿X向间隔开地设置，所述第一X向柔性导向件和所述第二X向柔性导向件中的每一个沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连以便约束所述第一X向刚性连接件的非X向运动；第一Y向柔性导向件和第二Y向柔性导向件，所述第一Y向柔性导向件和所述第二Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置，所述第一Y向柔性导向件和所述第二Y向柔性导向件中的每一个沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连以便约束所述第一Y向刚性连接件的非Y向运动；以及用于测量所述第一X向刚性连接件在X向上的位移的X向光栅和用于测量所述第一Y向刚性连接件在Y向上的位移的Y向光栅。