[发明专利]一种双凸台结构的热电能量采集器及其制作方法

摘要

本发明提供一种双凸台结构的热电能量采集器及其制作方法，所述热电能量采集器中，所述双凸台结构与多晶硅块通过第一导电块及第二导电块相互交替依次相连，其中，所述双凸台结构作为第一类型掺杂热电偶臂，所述多晶硅块作为第二类型掺杂热电偶臂，形成相互串联的热电偶阵列，得到微型热电能量采集器。本发明中，垂直的双凸台结构使热电偶臂与导热板之间具有较大的接触面积，可以降低接触热阻和接触电阻，提高器件的温差利用率和发电功率，并具有一定的机械强度；同时，相比传统垂直结构热电能量采集器，所述双凸台结构与多晶硅块部分重叠，从而提高了单位面积的利用率，具有较高的集成度，并且所述双凸台结构的倾斜侧壁更有利于多晶硅块的沉积。

主权项

一种双凸台结构的热电能量采集器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：提供一自下而上依次包括第一导热板、第一绝缘层及第一类型掺杂结构层的基板；S2：刻蚀所述结构层，形成若干分立的并由所述第一绝缘层隔离的双凸台结构；所述双凸台结构包括底部凸台及形成于所述底部凸台上的顶部凸台，其中，所述底部凸台及顶部凸台均具有倾斜侧壁，且所述顶部凸台在水平面上的投影面积小于所述底部凸台在水平面上的投影面积；S3：形成覆盖所述双凸台结构的第二绝缘层；S4：在所述第二绝缘层上形成若干分立的第二类型掺杂多晶硅块；所述多晶硅块的一端与一个所述双凸台结构的底部凸台部分重叠、另一端与另一个所述双凸台结构的底部凸台及顶部凸台部分重叠；S5：制作与所述底部凸台连通的第一导电块及与所述顶部凸台连通的第二导电块，使所述双凸台结构与所述多晶硅块通过所述第一导电块及所述第二导电块相互交替依次相连；S6：提供第二导热板，将所述第二导热板与所述双凸台结构顶部连接。