[发明专利]非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法在审
| 申请号： | 201510772781.0 | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105352453A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 刘东;杨甬英;张磊;师途;种诗尧 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 叶志坚 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法。本发明利用实验获得的非球面沿光轴的不同位置处检测波前像差系数，配合光线追迹软件的逆向优化，解出非球面的初定位位置和顶点球曲率半径。避免了传统零位检测方法中在猫眼和齐焦点的精确定位过程，解决了在非球面非零位干涉检测中被测面定位，曲率半径误差和被测面面形之间相互影响而不能准确测定的矛盾。该方法直接适用于非零位检测系统，避免了对面形误差与顶点曲率半径分别测量的复杂程序，不依赖于非球面绝对定位精度，利用光线迭代追迹代替了复杂的计算过程。 | ||
| 搜索关键词： | 零位 干涉 检测 系统 中非 球面 点球 曲率 半径 测量方法 | ||
【主权项】：
非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法，其特征在于：以系统建模方法为基础，采用多次测量结果共同优化，在不采用定位方法的基础上，能够同时测量非球面顶点球曲率半径和非球面面形误差。
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